鐳射激光切割保護液-羽杰科技
? ? ? 羽杰科技研發(fā)的YJ-1080水溶性鐳射激光切割保護液，是一種用于晶圓激光切片工藝的高密度合成聚合物涂層，可以有效地覆蓋和保護晶圓片表面，可應(yīng)用于LED及半導(dǎo)體Low-k激光燒蝕加工。在高亮度LED加工中激光燒蝕加工及隱形切割方法逐漸成為主流制程，其中燒蝕加工兼顧了效率、合格率及成本上的平衡。
? ? ? ?與此同時，集成電路特征尺寸不斷微縮，Cu-Low-k制程得到廣泛的應(yīng)用，帶Low-k膜（低介電常數(shù)膜）的晶圓需要采用激光開槽方式加工。YJ-1080可有效抑制LED晶片及晶圓表面碎片沾附，同時具有優(yōu)異的冷卻效果，防止保護膜的熱固著，易于清洗。可實現(xiàn)藍寶石、GaAs、Si及SiC等基底的切割保護。
產(chǎn)品主要特點：
●降低制程產(chǎn)生的過熱及燒灼
●減少顆粒附著晶圓
●晶圓表面產(chǎn)生保護膜
●無殘留的優(yōu)良切割制程
●百分百水溶性
●激光切割制程的最佳解決方案
運用：
*?硅基晶圓激光切割；
*?GaAs、InP晶圓激光切割；
*?SiC、GaN激光切割；
使用方法：
先將羽杰晶圓激光保護液以噴涂或是涂布的方式，均勻的分布在晶圓(LED或半導(dǎo)體)等工件表面，再進行激光加工作業(yè)。
注意事項：未使用完的保護液須將桶蓋擰緊，避免水分、油質(zhì)、灰塵混入，影響加工品質(zhì)。
包裝規(guī)格：1加侖/桶，20L/桶
貯存條件：存放于陰涼透風(fēng)處，避免日曬雨淋。
本文標(biāo)題：鐳射激光切割保護液-羽杰科技
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